可插拔式平行电极，便于调整间距；

触摸屏 +PLC 控制；

自动模式下可同时存储 50 组不同的配方；

质量流量计控制（标准配置 2 路）；

主要元器件采用进口，性能稳定；

自动射频调整及负载匹配；

动态监控，保护到位，安全可靠；

一键式操作，简单易懂。

反应仓尺寸（mm）：L500xW500xH400

频率：13.56MHz

射频功率（W）：0~600 可调

真空度（Pa）：10~50

电源及功率：AC380V,<4KWA

0351-6520879